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押し付け力とステージ剛性の取り扱い

工苑WEB担当の石塚です。

超音波モータの解説として「押し付け力とステージ剛性の取り扱い」を加えました。

工苑:押し付け力とステージ剛性の取り扱い
http://www.koenn.co.jp/nano/nano_101.html

簡単に説明すると、ナノモーションの超音波モータは駆動させるモノ、たとえばステージの端を指で掻くようにして動かしますが、そのためにステージにモータを押し付けなければなりません。

その押し付け力は、必要な推力の5倍です。そのためベアリングは横から大きな力(押し付け力)に耐える剛性が要求されます。そのへんの説明が書かれています。

参考にしていただき、詳細は当社の営業までお問い合わせください。

いつもありがとうございます。

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